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詳細的易威奇風囊泵介紹

來源:本站 時間:2022-03-24 10:52:37

詳細的易威奇風囊泵介紹

高速沖程:提升泵的沖程速度 (大達240 spm),讓制造過程中,大大減少泵的尺寸、重量、成本,及降低脈動。

無污染設計:過流端零件均采用氟樹脂材質,沒有金屬零件外露的設計,外殼采用氟樹脂材質。使用*的軸封 ,能顯著降低顆粒的產生。

液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力:液體輸送溫度范圍高達5 - 180°C,吐出壓力高達45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程,同時適用于化學液體供藥。

易于維護:更換開關無需拆卸,不需定期收緊螺栓,減少了停機時間。

傳感器驅動系統:內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。


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